LEDspotlight

發展國產LED生產設備，降低生產成本，是關乎中國綠色節能產業健康發展的重大命題。中國本土LED生產設備即將在第76屆中國電子展上亮相。

中國設備製造商青島華旗科技將展出一款適用於化合物半導體——LED/半導體照明等科研領域的外延及晶體生長MOCVD系統。該系統由生長室、氣源、氣體控制系統、真空系統、整機的計算機控制系統等組成，系統各工藝參數均可由計算機自動控制（windows界面）。

該產品可滿足2”多片晶圓，支持GaN/GaAs等薄膜工藝、採用電阻加熱 /感應加熱的結構形式，生產能力為2英吋1、3、6片。另外，該公司還承擔了部分國家863項目（如半導體白光照明GaN生長的HVPE設備等）。

賽瑞達公司除了一系列太陽能專用設備之外，也開發了幾款LED生產設備，包括LED專用擴散爐和專用合金爐。其LED專用擴散爐和專用合金爐關鍵件全部採用進口件，具有高可靠性和高抗干擾能力，具有可編程的升、降溫功能，以及有斷電報警、超溫報警、極限超溫報警等多種安全保護功能。

該設備可存儲九條工藝曲線，每條工藝曲線最多有九步，曲線間可以任意鏈接、重複。另外還具有多種工藝管路，可供用戶隨意靈活配置。賽瑞達可為客戶提供斜滾式推拉舟系統，石英雙桿推拉舟系統及SiC漿推拉舟系統的靈活選擇。

上游設備的成功本土化離不開下游外延晶片廠、LED封裝廠、模塊乃至燈具供應商、後端設備商的配合與支持。據悉，本屆秋季中國電子展，彙集了真明麗、深圳市穩亮電子、李洲科技、寧波升譜電子、常州愛立德電子、台灣億光電子、金台電子等眾多大中小型LED企業，以及田中精機、崑山具良、日特機械工程、華勝科技、上海富榮電子等一大批後端生產設備商，並專門開闢了LED照明展區，為產業上下游的互動提供了良好的互動平台，有利於促成他們之間的合作。